半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線(xiàn)路板、光電器件、光盤(pán)、鍍膜玻璃、導電玻璃、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規模、超大規模集成電路需用大量的高純水及超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高,對水質(zhì)的要求也越高。目前我國電子工業(yè)部把電子級水質(zhì)技術(shù)分為五個(gè)行業(yè)標準,分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區分不同水質(zhì)。
詳細介紹
»電子行業(yè)超純水生產(chǎn)線(xiàn)典型工藝流程
電子行業(yè)制備超純水的工藝大致分成以下幾種:
1、采用離子交換樹(shù)脂制備超純水的傳統水處理方式,其基本工藝流程為: ●源水(箱)→源水泵→機械過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→軟水器(根據水的硬度來(lái)選用)→精密過(guò)濾器→陽(yáng)床→陰床→混床(單級或雙級)→純水箱→純水泵→后置精密過(guò)濾器→用水點(diǎn)
2、采用反滲透水處理設備與離子交換設備進(jìn)行組合的方式,是比較經(jīng)濟和流行的一種方式,其基本工藝流程為:
●源水(箱)→源水泵→機械過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→軟水器(根據水的硬度來(lái)選用)→精密過(guò)濾器→反滲透設備→中間水箱→混床(單級或雙級)→。。。。。!盟c(diǎn)
A、源水(箱)→源水泵→機械過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→軟水器(根據水的硬度來(lái)選用)→精密過(guò)濾器→高壓泵→反滲透裝置 (根據源水水質(zhì)可設單級或雙級)→中間水箱→混合離子交換器(單級或雙級)→終端過(guò)濾器→產(chǎn)品水箱→用水點(diǎn)
B、源水(箱)→源水泵→機械過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→軟水器(根據水的硬度來(lái)選用)→精密過(guò)濾器→高壓泵→反滲透裝置(根據源水水質(zhì)可設單級或雙級)→中間水箱→混合離子交換器(單級或雙級)→產(chǎn)品水箱→純水泵→核級樹(shù)脂→終端過(guò)濾器→用水點(diǎn)
3、采用反滲透水處理設備與電去離子(EDI)設備進(jìn)行搭配的的方式,這是一種制取超純水的最新工藝,也是一種發(fā)展潛力巨大的超純水制備工藝,其基本工藝流程為:
●源水(箱)→源水泵→機械過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→軟水器(根據水的硬度來(lái)選用)→精密過(guò)濾器→原水箱→反滲透設備(根據源水水質(zhì)可設單級或雙級)→中間水箱→電去離子(EDI)→純水箱→純水泵→后置過(guò)濾器→用水點(diǎn)
A、源水(箱)→源水泵→機械過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→軟水器(根據水的硬度來(lái)選用)→精密過(guò)濾器→高壓泵→反滲透裝置(根據源水水質(zhì)可設單級或雙級)→中間水箱→EDI→產(chǎn)品水箱→用水點(diǎn)
B、源水(箱)→源水泵→機械過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→軟水器(根據水的硬度來(lái)選用)→精密過(guò)濾器→高壓泵→反滲透裝置(根據源水水質(zhì)可設單級或雙級)→中間水箱→EDI→產(chǎn)品水箱→純水泵→核級樹(shù)脂→終端過(guò)濾器→用水點(diǎn)
實(shí)際工作中根據源水水質(zhì)和出水要求適當取舍或添加,確定工藝!
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»三種制備電子工業(yè)用超純水的工藝比較
目前制備電子工業(yè)超純水的工藝基本上是以上三種,其余的工藝流程大都是在以上三種基本工藝流程的基礎上進(jìn)行不同組合搭配衍生而來(lái),F將他們的優(yōu)缺點(diǎn)分別列于下面:
1、第一種采用傳統的離子交換樹(shù)脂其優(yōu)點(diǎn)在于初次投資少,占用的地方少,但缺點(diǎn)就是需要經(jīng)常進(jìn)行離子再生,耗費大量酸堿,而且對環(huán)境有一定的破壞。
2、第二種采用反滲透+離子交換設備,其特點(diǎn)為初次投資比采用離子交換樹(shù)脂方式要稍高,但離子再生周期相對要長(cháng),耗費的酸堿比單純采用離子樹(shù)脂的方式要少很多。是目前比較經(jīng)濟與流行的一種工藝。
3、第三種采用反滲透作預處理再配上電去離子(EDI)裝置,這是目前制取超純水最先進(jìn),最環(huán)保的的工藝,不需要用酸堿進(jìn)行再生便可連續制取超純水,對環(huán)境沒(méi)什么破壞性。其缺點(diǎn)在于初次投資相對以上兩種方式過(guò)于昂貴。
»我們公司生產(chǎn)的電子級超純水設備特點(diǎn)
設備通常由機械過(guò)濾器,活性碳過(guò)濾器,鈉離子軟水器、精密過(guò)濾器等構成前期預處理系統、RO反滲透主機系統、離子交換混床系統或EDI電脫鹽系統等構成主要設備系統。水箱均設有液位控制系統、水泵均設有壓力保護裝置、在線(xiàn)水質(zhì)檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器,真正做到了無(wú)人職守,同時(shí)在工藝選材上采用推薦和客戶(hù)要求相統一的方法,使設備與其它同類(lèi)產(chǎn)品相比較,具有更高的性?xún)r(jià)比和設備可靠性。
»電子行業(yè)超純水設備應用范圍
1、半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路; 2、超純材料和超純化學(xué)試劑; 3、實(shí)驗室和中試車(chē)間; 4、汽車(chē)、家電表面拋光處理; 5、光電產(chǎn)品; 6、其他高科技精微產(chǎn)品;
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